18世紀初，一位愛好植物學(xué)的英國牧師黑爾斯（s．hales，1677?1761）發(fā)明了集氣槽，改進了水上集氣法。
1772年盧瑟福（d．rutherford，英，1749?1819）在密閉容器中燃燒磷，除去尋�？諝庵锌芍己涂晒﹦游锖粑臍怏w，對剩下的氣體進行了研究，發(fā)現(xiàn)這種氣體不被堿液吸收，不能維持生命和具有可以滅火的性質(zhì)，因此他把這種氣體叫做“濁氣”或“毒氣”。同年英國化學(xué)家普利斯特里（j．priestley，1733?1804）也了解到木炭在密閉于水上的空氣中燃燒時，能使1/5的空氣變?yōu)樘妓釟猓檬宜蘸�，剩下的氣體，不助燃也不助呼吸。
1774年普利斯特里利用一個直徑為一英尺的聚光鏡來加熱各種物質(zhì)，看看它們是否會分解放出氣體，他還用汞槽來收集產(chǎn)生的氣體，以便研究它們的性質(zhì)。那年8月1日他如法加熱汞煅灰（即氧化汞），發(fā)現(xiàn)蠟燭在分解出的“空氣”中燃燒，放出更為光亮的火焰；他又將老鼠放在這種氣體中，發(fā)現(xiàn)老鼠比在同體積的尋常空氣中活的時間約長了4倍。可以說，普利斯特利發(fā)現(xiàn)了氧。遺憾的是他和盧瑟福等都堅信當(dāng)時的“燃素說”。從而錯誤地認為：這種氣體不含燃素，所以有特別強的吸收燃素的能力，因而能夠助燃，當(dāng)時他把氧氣稱之為“脫燃素空氣”，把氮氣稱之為“被燃素飽和了的空氣”。
事實上，瑞典化學(xué)家舍勒（c．w．scheele，1742?1786）在盧瑟福和普利斯特里研究氮氣的同時，于1772年也從事這一研究，他可算是第一個認為氮是空氣成分之一的人。他曾于1773年用硝酸鹽（硝酸鉀和硝酸鎂）、氧化物（氧化汞）加熱，制得“火氣”（fire air），并用實驗證明空氣中也存在“火氣”。
綜上所述，可見舍勒和普利斯特里雖然都獨立地發(fā)現(xiàn)并制得氧氣，但正如恩格斯指出的：由于他們被傳統(tǒng)的燃素說所束縛，“從歪曲的、片面的、錯誤的前提出發(fā)，循著錯誤的、彎曲的、不可靠近的途徑行進，往往當(dāng)真理碰到鼻尖上的時候還是沒有得到真理”（《自然辯證法》）。
法國化學(xué)家拉瓦錫（a．l．lavoisier，1743?1794）較早地運用天平作為研究化學(xué)的工具，在實驗過程中重視化學(xué)反應(yīng)中物質(zhì)質(zhì)量的變化。當(dāng)他知道了普利斯特里從氧化汞中制取氧氣（當(dāng)時稱之為脫燃素空氣）的方法后，就做了一個著名的研究空氣成分的實驗（見《九年義務(wù)教育三年制初級中學(xué).化學(xué).全一冊》第一章閱讀材料）。他擺脫了傳統(tǒng)的錯誤理論（燃素說）的束縛，尊重事實，對實驗作了科學(xué)的分析和判斷，揭示了燃燒是物質(zhì)跟空氣里的氧氣發(fā)生了反應(yīng)，指出物質(zhì)里根本不存在一種所謂燃素的特殊東西。1777年，拉瓦錫在接受其他化學(xué)家見解的基礎(chǔ)上，認識到空氣是兩種氣體的混合物，一種是能助燃，有助于呼吸的氣體，并把它命名為“氧”，意思是“成酸的元素”（拉瓦錫當(dāng)時認為，非金屬燃燒后通常變?yōu)樗幔跏撬岬谋举|(zhì)，一切酸中都含有氧元素）；另一種不助燃、無助于生命的氣體，命名為氮，意思是“不能維持生命”。
1785年英國化學(xué)家卡文迪許（h．cavendish 1731?1810）用電火花使空氣中氮氣跟氧氣化合，并繼續(xù)加入氧氣，使氮氣變成氮的氧化物，然后用堿液吸收而除去，剩余的氧氣用紅熱的銅除去。但至終殘余有1％的氣體不跟氧氣化合，當(dāng)時就認為可能是一種新的氣體，但這種見解卻沒有受到化學(xué)家們應(yīng)有的重視。
經(jīng)過百余年后，英國物理學(xué)家雷利（j．w．s．rayteigh，1842?1919）于1892年發(fā)現(xiàn)從含氮的化合物中制得的氮氣每升重1.250 5 g，而從空氣中分離出來的氮氣在相同情況下每升重1．257 2 g，雖然兩者之差只有幾毫克，但已超出了實驗誤差范圍。所以他懷疑空氣中的氮氣中一定含有尚未被發(fā)現(xiàn)的較重的氣體。雷利沿用卡文迪許的放電方法從空氣中除去氧和氮；英國化學(xué)家拉姆塞（w．ramsay，1852?1916）把已經(jīng)除掉co2、h2o和o2的空氣通過灼熱的鎂以吸收其中的氮氣，他們二人的實驗都得到一些殘余的氣體，經(jīng)過多方面試驗斷定它是一種極不活潑的新元素，定名為氬，原文是不活動的意思。
1868年8月18日在印度發(fā)生了日全蝕，法國天文學(xué)家嚴森（p．j．c．janssen，1824一1907）從分光鏡中發(fā)現(xiàn)太陽光譜中有一條跟鈉d線不在同一位置上的黃線，這條光譜線是當(dāng)時尚未知道的新元素所產(chǎn)生的。當(dāng)時預(yù)定了這種元素的存在，并定名為氦（氦是拉丁文的譯音，原意是“太陽”）。地球上的氦是1895年從鈾酸鹽的礦物和其他鈾處礦中被發(fā)現(xiàn)的。后來，人們在大氣里、水里，以至隕石和宇宙射線里也發(fā)現(xiàn)了氦。
1898年拉姆塞又在液態(tài)空氣蒸發(fā)后的殘余物里，先后發(fā)現(xiàn)了氪（拉丁文原意是“隱藏的”）、氖（拉丁文原意是“新的”）和氙（拉丁文原意是“生疏的”）。
1900年德國物理學(xué)教授道恩（f．e．dorn，1848一？）在含鐳的礦物中發(fā)現(xiàn)一種具有放射性的氣體，稱為氡（拉丁文原意是“射氣”）。
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